溫濕度控制器是目前應(yīng)用廣泛的傳感器之一。高壓柜電磁鎖有些地方裝不了機械連鎖 可以用電磁鎖 鎖住 開鎖的條件自己通過接線滿足。高壓帶電顯示器一種直接安裝在室內(nèi)電氣設(shè)備上，直觀顯示出電氣設(shè)備是否帶有運行電壓的提示性安全裝置。當(dāng)設(shè)備帶有運行電壓時，該顯示器顯示窗發(fā)出閃光，警示人們高壓設(shè)備帶電，無電時則無指示。該裝置一般安裝在進線母線、斷路器、主變、開關(guān)柜及其它需要顯示的是否帶電的地方。故障指示器指的是短路及接地故障指示器是用來檢測短路及接地故障的設(shè)備。在線路故障檢測的時候，配合故障定位儀使用。目前我國在線路故障排查的時候，都要大量使用故障指示器。 傳統(tǒng)的壓力傳感器基于機械結(jié)構(gòu)，利用壓電效應(yīng)將彈性體的變形轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的壓力。 隨著半導(dǎo)體技術(shù)和mems技術(shù)的發(fā)展，壓力傳感器的性能有了很大的提高，不僅體積小、重量輕、功耗低，而且具有更高的精度、穩(wěn)定性和可靠性，大大擴展了其應(yīng)用市場。 高溫壓力傳感器主要用于測量高溫環(huán)境下各種氣體和液體的壓力，廣泛應(yīng)用于鍋爐和管道中。 信號激勵和信號處理由計算機執(zhí)行。

目前已有體系、 soi、 sio2、 poly2si 等高溫壓力傳感器、高溫合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容壓力傳感器。與傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器相比，半導(dǎo)體電容式壓力傳感器具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、功耗低、僅對壓力敏感、對應(yīng)力不敏感等優(yōu)點，電容式壓力傳感器在許多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。接下來介紹了電容式高溫壓力傳感器的制造工藝。

硅電容式壓力以及傳感器的感應(yīng)元件是半導(dǎo)體材料薄膜,它主要由單晶硅和多晶硅制作而成。典型的電容式傳感器網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)由上下電、絕緣體和襯底所組成。當(dāng)薄膜受壓力作用時,它會不斷發(fā)生形變,這就直接導(dǎo)致企業(yè)上下電系統(tǒng)之間的距離緊跟著發(fā)生發(fā)展變化,從而使電容可以發(fā)生時間變化。但電容的變化與上下電之間的距離呈非線性相關(guān)關(guān)系。所以,要用補償電路對其進行風(fēng)險補償。由于我國高溫條件對補償電路的影響到了很大，所以教師應(yīng)當(dāng)如何避免這種補償電路在高溫保護環(huán)境下工作，好的解決管理辦法之一就是把傳感器件與放大電路實現(xiàn)分離,通過分析模型能夠識別來得到所測環(huán)境的壓力。

本文由溫濕度檢測傳感器，溫濕度測量變送器,溫濕度進行控制器。